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概覽

RA101型六氟化硫氣體泄漏標準發(fā)生裝置

產品用途|MCU智能控制 ? 高純氣體超微流量控制

產品型號RA101型

產品名稱六氟化硫氣體泄漏標準發(fā)生裝置

量程A(0.02~2)mL/min SF?

量程B(0.2~20)mL/min SF?

響應時間≤1s

預熱時間≤2min

性能

產品中心-----------產品詳情-–-49_01.png

產品中心-----------產品詳情-–-49_02.png

配置

產品參數及尺寸

參數名稱

參數值


量  程  A

(0.02~2)mL/min SF?


量  程  B

(0.2~20)mL/min SF?


量程A準確度

±0.01mL/min(<0.7mL/min SF?)

±0.02mL/min(≥0.7mL/min SF?)



量程B準確度

±0.1mL/min(<7mL/min SF?)

±0.2mL/min(≥7mL/min SF?)


響應時間

≤1s


預熱時間

≤2min


穩(wěn)  定  性

零點漂移(儀器零點漂移在一年內應不超過±0.6%F.S)


擴  展  性

可根據用戶需求實現甲烷、二氧化碳、一氧化碳等其他氣體準泄漏源


顯       示

5.6英寸液晶顯示屏


電       源

220V AC、50Hz

功能特點

MCU智能控制,自動控制,精度高,線性佳;

裝置的管路內表面均具有抗腐蝕、低吸附特性,對酸性氣體及有毒有害氣體均可進行配制;

可實現多種高純氣體超微流量控制;


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