產品用途|MCU智能控制 ? 高純氣體超微流量控制
產品型號RA101型
產品名稱六氟化硫氣體泄漏標準發(fā)生裝置
量程A(0.02~2)mL/min SF?
量程B(0.2~20)mL/min SF?
響應時間≤1s
預熱時間≤2min
產品參數及尺寸
參數名稱
參數值
量 程 A
(0.02~2)mL/min SF?
量 程 B
(0.2~20)mL/min SF?
量程A準確度
±0.01mL/min(<0.7mL/min SF?)
±0.02mL/min(≥0.7mL/min SF?)
量程B準確度
±0.1mL/min(<7mL/min SF?)
±0.2mL/min(≥7mL/min SF?)
響應時間
≤1s
預熱時間
≤2min
穩(wěn) 定 性
零點漂移(儀器零點漂移在一年內應不超過±0.6%F.S)
擴 展 性
可根據用戶需求實現甲烷、二氧化碳、一氧化碳等其他氣體準泄漏源
顯 示
5.6英寸液晶顯示屏
電 源
220V AC、50Hz
功能特點
MCU智能控制,自動控制,精度高,線性佳;
裝置的管路內表面均具有抗腐蝕、低吸附特性,對酸性氣體及有毒有害氣體均可進行配制;
可實現多種高純氣體超微流量控制;